アルミマイグレーション評価装置
製品概要
LSIの高集積化が進むなかでマイグレーション現象・ゲート酸化膜の経時破壊などの問題がクローズアップされてきました。
本装置は、そうしたエレクトロマイグレーションの評価、解析を支援する事を目的とした装置です。
用途
LSIの配線材や酸化膜の評価
特徴
- 恒温槽（２槽分割方式：５スロット×２槽）／台
- 試験ボードサイズは３４０ｍｍ×４７２ｍｍ
- 試験温度設定はRT＋３０℃～２５０℃
- 定電流回路数は１ボード／２０回路／５ボード×２槽＝２００回路
- 電流出力範囲は＋１ｍA～５０ｍA，＋１０ｍA～５００ｍA，＋１００ｍA～３０００ｍAの３レンジ
- 電流印加方式は＋ＤＣのみ
- クランプ電圧は１TEG当たり最大１８Ｗ（ＭＡＸ２０Ｖ）